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第497章 华夏开眼看李颜

子,真拆啊?”

  “拆了不是重点,我装回去了。”李颜说道,“能拆能装,是不是足够证明我搞明白了这台东西?”

  “那倒也……不一定吧?”黄书记却在此时提出异议,他显然不太懂几万个零件的精密机器拆了又装是什么概念,“拆了装,不一定代表就能造吧?我记得光刻机还有一大难点在于工艺?”

  “所以我优化了一下,虽然提高了点成本,但我认为……以华夏目前的工业水平,稍微集中一下力量,搞定不是难题。”

  “优化?”梁总语气提高八度,“你说你优化了?”

  李颜笑着走进休息室,从里边拖出来一箱叮叮咣咣的东西,“我连别人家的成品都能优化,遑论我自己设计的?”

  啊?!!梁总突然感觉两眼一黑,甚至有种心脏骤停的感觉。

  华芯国际总经理范总也觉得不可思议,马上问道,“你拆下来了一些零件?”

  “是的。”

  “现在能运行吗?”

  “当然能。”李颜点头,“东西就在研究室里边,不过我没有配套生产链。二位比较熟悉,也可以先去看看,回头送去华芯国际做测试也无妨。”

  梁总憋着一句“这不可能”憋得很辛苦。

  “这不太好,”黄书记说道,“万一路上颠簸出了问题,到时候可搞不清楚。”

  “问题不大,”李颜摆摆手,“我到那边修就行了。”

  ……?石磊突然鼓起了掌,并说道,“范总,梁总,就按李颜说的来吧。测试完了能正常运转的话,我们后边争取资源就轻松多了。”

  华芯国际当然没有拒绝的理由。

  后续几个人又去研究室看了光刻机,因为光刻机本身在无菌室里,所以他们只是隔着透明玻璃往里看。

  也看不出怎么个所以然。梁总盯着看了好一会儿,实在是憋不住心里的疑惑:“李总,我问一些问题,您不要觉得有冒犯,也不是我不信任您……”

  “不必如此,”李颜笑道,“交流而已,请讲。”

  “这台是浸润式duv?”

  “是。”

  “你所说的自己设计的光刻机,也是浸润式?”

  “是,附带成本更高昂一点的浸润系统,优化要等后续,并且大概需要一段时间的测试。”

  “你意思是,你没有进行测试?”

  “我都没做出来,没法测试。手里只有这台东西,而且超纯水什么的,我这边也不好搞,华芯国际有现成的,我才说让你们测试。”

  梁总眉头紧紧皱起,“那你怎么,就觉得自己的想法可行?”

  “我在脑子里跟电脑里都模拟过了,妥。虽然我的解法跟阿斯玛的做法不一定一致——我也说了,考虑到当前华夏的工业生产水平,相比起光刻机,我目前为了先做出来的方案一,更像是‘光刻房’。浸润系统的成本不是量产级别,我还需要根据实际生产的情况进行优化。”

  ……嘶,梁总匝巴嘴,心想姑且当李颜说的是真的,便继续问道:“分辨率跟套刻精度呢?”

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  “跟阿斯玛的一样,193的波长,ArFi光刻机,分辨率38nm,得益于浸润式的提升,最小制程7nm。”

  梁总心里一边听一边狂喊“不可能”,喊得筋疲力尽。

  李颜突然一拍脑袋,补充道,“当然,目前套刻精度受制于制作工艺精度,实际用起来,想要通过多重曝光达到7nm制程,良品率应该不太妙。只能算是理论上没问题,实际应用的话,应该还是制程28nm的芯片为主。”

  “你说的要都是真的,你就是华夏这个行业的救世主。”范总用夸奖的方式把梁总心里的不可能喊了出来,“完完全全就是从无到有带领我国芯片产业往上跨了几个台阶!不可思议!”

  梁总继续问,“掩模板、晶圆、光源等模组的定位与运作,你竟然能用手拆了之后复原,并且不影响他们的精度?”

  “梁总,要是光刻机的精度取决于安装时手抖与否,那也太低级了。就算是全机械流水线安装,大型器械的精度难道就能匹配光刻机的零件精度吗?”

  “那……”

  “他们肯定都有互相匹配的卡位装置,就连螺丝转几圈都有具体规定,并且都留有细微的调整余量。像掩模板传送模组的精度,相比晶圆传输模组与双晶圆平台模组的精度要求也不一样,精度是可以借流程推进逐步提高的嘛。这东西内部的运作程序如何修正定位误差,才是最终成品能运作的核心问题。”李颜说道,“这种级别的精度本来就不可能光靠‘怎么放置’的机械操作保证。”

  梁总听得很急,他有太多问题想问了:“你怎么能知道螺丝转几圈这种东西?”

  “我拆的时候记住了。”

  “就……就靠记?”范总也懵逼了。

  未免太离谱了吧,爽文也不能这么爽啊。

  “当然不,螺丝拆了拧回去也有一定磨损,我毕竟徒手操作,有些地方不可能跟原来一模一样。所以需要完全理解这台机器,明白这里螺丝为什么转这么几圈,然后借计算机模型的辅助,确认我装回去的时候需要转几圈。”

  好的更离谱了。

  “那你说的,程序运作……难道你直接解析

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